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      1. 等離子體功率:等離子體功率是生成等離子體的能量,通常以瓦特(W)為單位。
      2. 等離子體密度:等離子體密度是等離子體中離子和電子的數量,通常以/cm3為單位。
      3. 處理室壓力:處理室壓力是控製等離子體反應的重要參數,通常以帕斯卡(Pa)為單位。
      4. 處理室溫度:處理室溫度也是控製等離子體反應的重要參數,通常以攝氏度(℃)為單位。
      5. 氣體流量:氣體流量是控製等離子體反應的重要參數,通常以標準升每分鍾(sccm)為單位。
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      6. 處理時間:處理時間是等離子體表麵處理的時間,通常以分鍾為單位。
      7. 處理樣品的位置和形狀:處理樣品的位置和形狀也是等離子體表麵處理的重要參數。
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